中古 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198251 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT
ID: 9198251
ウェーハサイズ: 6"
Horizontal furnaces, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTは、金属、半導体、セラミック基板など、さまざまな材料に精密プロセスを提供するために設計された拡散炉およびアクセサリーです。これにより、高度なセンサーと加熱素子によって、外部と内部の両方で制御されるシームレスで正確な温度制御が可能になります。これにより、ろう付け、アニール、焼結、合金化などの高精度なプロセスを実現し、さまざまな複雑な用途に最適です。TEL UX-11P10-4HTは、優れた断熱性と効率的な操作を提供するように設計されているタングステンとアルミナで構成された外部ボディを持っています。タングステン素子は作動時に一定の温度を維持し、アルミナは熱損失を防ぐのに役立ちます。外壁と内壁の間に配置されたモリブデン板は、熱漏れを防ぎ、効率を向上させます。拡散炉は、真空成形の底板を備えたボロシリカケイ素材で作られています。これにより、材料への強固な熱の流れが得られ、より制御され精密なプロセスが可能になります。炉床には、均一な温度と温度測定のための高感度熱電対を提供するのに役立つ石英コーティングされたグラファイトロッドも含まれています。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTは、4隅のろ過システムにより、低酸素流に加えて、過剰な拡散を最小限に抑えるように設計されています。これにより、プロセスの効率が向上し、汚染を防ぎます。さらに、処理中にガスを取り込むことができるガス噴射ユニットと、正確な温度制御と一貫した冷却性能を確保するための冷却ファンシステムを内蔵しています。UX-11P10-4HTは、単相と三相の両方の電流を駆動することができる特殊なパワーインバータによって駆動されます。これにより、プロセスの精度が向上し、複数のアプリケーションに適しています。炉の精度は、プロセスの容易な操作と監視を可能にするヒューマンマシンインターフェースによるものでもあります。また、ファイアウォール、高温警報、緊急停止機能などの安全機能があり、不要な事故から保護します。TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTは、高効率で高精度な拡散処理を幅広い材料に提供する先進的な拡散炉とアクセサリーです。堅牢で信頼性の高いプロセスを必要とするアプリケーションに最適です。
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