中古 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP #9148202 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UX-1190-4TP拡散炉は、材料研究と半導体製造のためのツールです。半導体、金属、メガネ、セラミックスなど、さまざまな材料の高温生産用に設計されています。独自の設計により、優れた温度の一貫性と、拡散プロセスで使用される温度とガスを正確に制御できます。TEL UX-1190-4TPには、3ゾーンのシングルクォーツチューブ炉チャンバーと、拡散プロセスを監視しやすいトップダウン表示窓が付属しています。チャンバーにはIn-Situフォーカシングミラーが装備されており、チャンバーのあらゆる領域で正確な温度制御が可能です。また、リアクタントガス配送用のオプションのガスライン、ミニキャッチャーポート、および安全で効率的な運転のための冷却システムが付属しています。炉には、より使いやすく、より効率的にするいくつかのアクセサリーも付属しています。安全モニターとアラーム、サンプルキャリッジ、クォーツるつぼ、ウエハーパターンカルーセル、さまざまなガスフェイスマスクが含まれます。安全モニターは、拡散プロセスがエンジニアリング仕様に従って安全に実行されることを保証します。サンプルキャリッジとクォーツるつぼは、炉室からサンプルを挿入して取り外すことを容易にするように設計されています。ウェハパターンカルーセルを使用すると、希望のパターンをすばやく変更できます。最後に、ガスフェイスマスクは、拡散プロセス全体でガスフローのパラメータが一貫していることを保証するのに役立ちます。東京電子UX-1190-4TP拡散炉は、最高品質の材料を製造するための信頼性と正確なツールです。そのIn-Situフォーカシングミラーは、チャンバー全体で正確な温度制御を保証します。さらに、その安全モニターとアラームは、機器が意図したように実行されていることを知って、ユーザーに安心を提供します。