中古 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9276695 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080は、リンやヒ素などのドーパントを均一に拡散させ、半導体などのデバイス構造を高速化するための拡散炉です。基板の均一性と高いスループットを確保するために設計されており、同時に最大30グループ、200mmウェーハを堆積することができます。また、炉の最初から最後まで優れたプロセス均一性を提供します。TEL UX-1080には、水平に配置された拡張ボート搬送炉が装備されています。ボートの高速加速・減速を可能にするガス駆動加速機構を採用し、ウェーハの搬送時間を短縮します。さらに、上面チャンバーは均一で高速な水平運動で加熱対流を提供し、プロセス全体で均一な加熱を可能にします。東京電子UX-1080の拡散過程は、予熱、反応、クールダウンの3段階で構成されています。予熱ステージは、プログラマブル加熱ローラーを使用して、均一なウェーハ表面温度と高スループットを確保します。反応ステージには誘導加熱システムが搭載されており、急速なウェハ温度上昇と優れた温度均一性を実現し、拡散の均一性にプラスの影響を与えます。クールダウン段階では、炉内の熱勾配を最小限に抑え、高いスループットにもかかわらず優れた冷却均一性を実現する新開発の「ラピッド冷却システム」を採用。また、拡散結合UX-1080ゲート酸化、ケイ化物、選択的酸化技術など、さまざまな用途に適しています。また、別の冷却室を必要とせずにウェーハのポストアニーリングを可能にする冷却システムを備えています。この機能は、高速半導体デバイスで迅速な熱安定化を必要とする場合に特に有益です。TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080拡散炉は、小型・高周波半導体製品の製造に最適です。堅牢な設計、均一なプロセス制御、低熱損失、高速運転により、大規模生産のための魅力的な選択肢となり、優れた品質管理と再現性のある結果を提供します。