中古 TEL / TOKYO ELECTRON UX-1080 #9068938 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UX-1080はハイエンド拡散炉と付属品です。その主な特徴は、焼成チャンバー全体にわたって大きな均一な温度プロファイルであり、処理中の基板温度を正確に温度制御することができます。温度範囲は0°から1000°Cであり、温度のプロフィールの均質性は+/-1°Cです。対流ファンは強力な正圧を備えており、チャンバー全体の熱の均一な分布を可能にします。ファンは2方向に調整することができ、均一な流量と温度の拡散プロセスを可能にします。拡散炉には不活性ガスを均等に循環させ、基板濃度の均一性を維持する不活性ガス注入システムも備えています。拡散チャンバーは、効果的な熱分布のためにヒータープレートで囲まれ、内部で保護されています。温度制御システムは、高効率で幅広い用途に対応できるように設計されています。プログラマブルコントローラ機能により、処理実行をセットアップする際の利便性と柔軟性を提供します。TEL UX-1080拡散炉は、パソコンのモニター処理を可能にする強力なソフトウェアパッケージも備えています。グラフィカルユーザーインターフェイスにより、さまざまな変数を簡単に制御および監視できます。発射温度の直接調整、ランプレートの設定、ドウェル時間、基板温度など、さまざまな機能を設定できます。最後に、東京電子UX-1080拡散炉には様々な補助部品が付属しています。スペクトルエミッションモニターやマッフルオープナーなど、チャンバーや基板に簡単にアクセスできます。炉はまたガスおよび液体の流れメートルのような他の付属品の多数と互換性があります。これらは、高品質の結果を提供するように設計されています。結論として、UX-1080拡散炉とアクセサリーは、ラインプロセスシステムのトップです。その広い温度範囲とチャンバー全体の温度プロファイルの均質性により、多くの拡散プロセスに適しています。ユーザーフレンドリーなソフトウェアパッケージと周辺部品は、あらゆる研究および生産環境に最適です。