中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10H #9350447 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10H
ID: 9350447
ウェーハサイズ: 4"-5"
ヴィンテージ: 2009
Diffusion furnace, 4"-5" 2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10Hは、Epi、イオン注入、酸化、昇華、熱機械工程などの複雑なプロセス用に設計された高性能拡散炉およびアクセサリーです。このユニットは、10インチと16インチの2つのサイズで多目的な垂直または水平設計を備えています。10インチモデルは、熱処理や急速な酸化などの短時間プロセスに最適ですが、16インチモデルはより大規模なプロセスに適しています。TEL UL 2604-10Hは、高温でも厳密に制御された雰囲気を維持し、正確な温度制御と均一な加熱を実現します。高性能な熱反射・排気装置を内蔵し、高信頼性、高精度、長期安定した性能を実現しています。UL 2604の中心には、1600°Cまでの精密な温度制御を提供するTELピロメトリーシステムがあります。TOKYO ELECTRONピラメトリユニットには、熱処理物体の熱特性を自動測定する機能、均一な加熱速度のための均一な加熱アルゴリズム、調整可能な加熱時間などがあります。TOKYO ELECTRON UL 2604-10Hは、高温やガス圧に耐え、放射能漏れを最小限に抑えるために設計された厚壁のクォーツエンクロージャを備えています。また、高純度のセラミックチューブに様々な化学物質を充填し、不活性な雰囲気を提供します。UL 2604-10Hは便利で高度な機能を備えています。高温プロセスのための長いプロセスウィンドウ、大気を正確に調節するために使用できるガス制御、非常停止のためのパワーオフ機械、および部屋の内部を通してきれいで、均一な温度を維持する腐食抵抗力がある真空用具があります。これらの機能に加えて、TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10Hには、熱電対、ガスバルブ、保護カバーなど、さまざまなアクセサリーが含まれています。追加の加熱素子、パーティクルフィルター、回転駆動機構など、さまざまなオプションのアクセサリーも付属しています。TEL UL 2604-10Hは、高性能拡散炉やアクセサリーを必要とする方に最適です。高度な温度制御、均一な暖房、安全機能、便利なアクセサリーで、市場で最高の1つです。
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