中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-10H #9148349 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-10Hは、集積回路材料および部品の開発を目的とした拡散炉およびアクセサリパッケージです。金属、酸化物、窒化物など、さまざまな薄膜成膜材料に適しています。この包括的なパッケージは、メインフレーム、空冷メインフレーム、ガスキャビネット、バブラー、温度コントローラ、薄膜加工に不可欠な追加部品など、さまざまなプロセス部品で構成されています。メインフレームは、高性能の薄膜処理用に作成され、作業シミュレーションの柔軟性と複雑なプロセスを実行するために必要な専門知識のレベルを提供します。ユーザーフレンドリーな設計で、高速運転と簡単なメンテナンスが可能です。高速加熱冷却システムは赤外線セラミック発熱体を利用しており、温度範囲を非常に正確に制御できます。空冷メインフレームには温度コントローラが装備されており、最大400°Cの温度動作が可能です。Vycorの窓のアイソレータだけでなく、高温プロセスの間にプロセス部屋の妨げられない眺めを可能にする。ガスキャビネットは、安全で管理された雰囲気を維持しながら、主要なプロセス部品を接続するのに適した環境を提供します。そしてマスフローのコントローラー、圧力トランスデューサーおよび漏出探知器を含んでいます。さらに、パッケージには基板のローディングとアンロードに必要なコンポーネントが含まれています。機械真空ポンプ、ガス弁、および力の台座のような。パッケージには、幅広い周辺部品とアクセサリーが含まれています。バブラーポッド、石英容器、温度センサー、フランジ、N2パージバッグ、ボンドストランド、アルミ絶縁材など。さらに、ダイヤモンドフィルム、ゴールドフィルム、チタンフィルムなどの特殊フィルムを様々な基板上で栽培することができます。TEL UL 2604-10Hパッケージは、革新的な薄膜蒸着ニーズに対応するワンストップソリューションであり、複雑なプロセスに自信を持って対応できる柔軟性と専門知識をユーザーに提供します。パッケージのユニークなデザインと高度な機能により、幅広いアプリケーションで高品質の結果を達成するための貴重なツールとなります。