中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08L #293586739 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08Lは、半導体産業に特化した高性能熱拡散炉です。この拡散炉は、高出力のガスフィードチューブと静電気原理を使用して、半導体材料の表面に保護材料の層と合金層を堆積させます。高精度でエネルギー効率が高く信頼性が高いため、半導体製造に最適です。炉のガスフィードチューブは、2つの熱抵抗面で構成されています。第1は、保護層を堆積するために基板に高出力プラズマを指示します。第2の表面はより小さく、正確で、拡散の均一な区域を保障します。均一な領域は、保護材料の層が基材全体にわたって一貫して効率的に拡散されることを保証します。TEL UL 2604-08Lには、デュアルオートマチックトランスファーアームとマルチヒートセンサー搭載ダストコレクターの2つのオプションコンポーネントがあります。自動搬送アームは、拡散と温度制御の多くの段階の間でウェーハ基板を輸送するために使用されます。一方、ヒートセンサーは複数の点で炉の温度を監視し、コントローラにフィードバックを提供します。集塵装置は、交換室に存在する可能性のある空気中のほこりや粒子状物質の除去を可能にし、作業エリアを清潔かつ安全に保ちます。TOKYO ELECTRON UL 2604-08Lにはユーザーフレンドリーなタッチスクリーンコントロールもあり、処理される材料に応じてオペレータが自分のプロファイルをカスタマイズすることができます。プロファイルはハードドライブに保存され、簡単に調整することができ、さまざまな基板を扱うときに迅速かつ簡単に調整することができます。安全の観点から、UL 2604-08Lには、シャッターアラーム、サードパーソンガード、およびアクセスコントロールシステムが含まれています。エンドオブシャッターアラームは、炉のドアが開かれるたびにトリガーされ、ドアが適切に閉じられていない場合は動作を停止します。第三者警備員とアクセス制御システムは、それぞれ、炉のチャンバーに入るか、または不正行為を行う不正な人員から保護します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08Lは、半導体製造業界の要求に応えるために構築された洗練された高精度で信頼性の高い拡散炉です。高性能でエネルギー効率に優れたガスフィードチューブとデュアルオートマチックトランスファーアーム、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーン制御と安全性を重視した多数の機能により、半導体製造に最適です。