中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08H #9155404 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08Hは、半導体デバイス製造の高い熱要件を満たすように設計された拡散炉およびアクセサリーです。この装置は、均一な加熱を可能にする高性能で堅牢な石英ボディで構成されています。堅牢な水晶体は、in-situとex-situ加熱方法と拡散原理の組み合わせを利用して、処理環境全体に均等に熱を広げます。TEL UL 2604-08Hは、ドーパント拡散プロセスに最適です。高温加熱の精密線形制御、信頼性、広い温度範囲、および低温機能などの機能を提供します。さらに、このシステムは柔軟な周辺機器制御オプションと優れた絶縁特性を提供します。TOKYO ELECTRON UL 2604-08Hユニットは、水平メインゾーンとフィルタゾーンを備えたマルチゾーン構造です。メインゾーンは、4つの個別の温度制御エリアに分かれています。この炉は、効率的でクローズドループの超低圧力ホットウォール内装で設計されており、4つの温度ゾーンすべてで均一な熱分布を保証します。冷却効率の向上と気流制御用のCO2バッフルの追加のために3つの冷却ファンが装備されています。さらに、UL 2604-08Hには、最大流量600SLMの様々なガスを使用できる自動ガス制御機があります。このツールは、リモートコントロールと監視、パフォーマンス監視用の電子キャプチャ検出器（ECD）、プログラム可能なPIDコントローラ、および汚染防止フィルタなどのオプション機能も提供します。この資産には、緊急停止メカニズムや安全インターロックモデルなどの高度な安全機能が装備されています。さらに、周囲条件を維持し、プロセスのダウンタイムを低減するために排気ポートが設置されています。TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08Hは、半導体デバイス製造の厳しい要件に対応するように設計された先進的な拡散炉およびアクセサリーです。それは有効な、低圧熱い壁の内部および均一な温度配分のための有効な冷却ファンを提供します。この機器は高度にカスタマイズ可能で、安全性と信頼性を向上させるためのいくつかのオプション機能を提供します。TEL UL 2604-08Hは、現代の半導体デバイスメーカーにとって理想的な選択肢です。