中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08H / L #9226113 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/Lは、幅広い用途向けに設計された先進的なアクセサリーを備えた熱絶縁拡散炉です。この炉は1300°Cに達することができる広い温度範囲を備えているので、要求の厳しいプロセスに適しています。TEL UL 2604-08H/Lは、ダウンタイムを低減する防湿設計と、プロセスパラメータを簡単にプリセットできるガスコントロールパネルを内蔵しています。また、操作が簡単なタッチスクリーンインターフェイスを備えており、オペレータは炉のパラメータを監視および設定できます。効率的なホットウォール設計により、TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/Lはプロセス全体を通して均一で正確な加熱を提供します。UL 2604-08H/L拡散炉はまた、効率的で均一な加熱を提供するように設計された高度な多機能クォーツサセプターを備えています。サセプターは特殊な石英で作られ、最適な結果を得るために高温のるつぼまたはウェーハを搭載しています。この炉には、セラミック製の追加の外部水冷安全エンクロージャが装備されており、熱い表面との潜在的な物理的接触から保護するのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/L拡散炉は、ワークの位置決めを迅速かつ容易にするための真空ローディング工程と、回収時間を短縮して操作を簡素化するロードロック装置およびクールダウン装置を備えています。この炉には蒸気相圧力制御ユニットも付属しており、プロセス中の制御不能な拡散や過負荷を防ぐのに役立ちます。安全性を確保するため、TEL UL 2604-08H/Lには、温度を監視し、設定値を超えると加熱プロセスを停止するプログラム可能な過熱保護装置が装備されています。さらに、LEDディスプレイを備えた電気制御パネルがあり、プロセスの状態を表示し、必要に応じてパラメータを監視および調整するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON UL 2604-08H/L拡散炉は、メンテナンスを最小限に抑え、クリーンで均一で正確な結果を達成するための信頼できるツールです。この炉をよりスマートで効率的にするアクセサリーや安全機能の数によって、さらに性能が向上します。