中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL 2604-08 #293591385 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08は、TEL Limitedが設計・製造した洗練された拡散炉です。これは、垂直加熱、水平加熱、垂直冷却の3つの層で構成されています。縦の暖房の層はガスのディストリビューター、放射ヒーターおよび3段階の移動可能なRFの窓が装備されています。水平加熱層には複数の対流ヒーターが装備され、垂直冷却層には循環ファンとヒートシンクが装備されています。この拡散炉は、最高温度1,850°C、最大動作時間90分を誇ります。さらに、3つの3000V電源を備えており、正確で安定した動作を保証します。電源の制御は、Windows 7 Oで動作する統合されたコンピュータ機器を介して行われます。このオペレーティングシステムは、温度制御、予熱ゾーン制御、蒸着ゾーン制御、クールゾーン制御などのさまざまな設定を可能にします。TEL UL 2604-08は、Poly-Si、 Mo-Si2、 Ni-Silicidなどの各種成膜プロセスや材料に使用できます。また、指向性および線形蒸着にも使用できます。省電力、低消費電力、低ノイズレベルに設計されています。また、プロセスが終了したときに自動的に動作を停止するオートストップユニットを備えています。装置には、自動ホイスト/脱起重機機能と3つのエアロックが含まれており、ワークピースの迅速なロード/アンロードを可能にします。東京エレクトロンUL 2604-08には、基板の低濃度を維持するためのtype-Aシャッターも装備されており、ウェーハの質感の均一性を高めています。最後に、アップグレードされたリモートアクセスマシンとアラームランプが装備されているため、安全マージンが向上します。UL 2604-08は単一のローブおよびコンパクトな設計に収容されて、さまざまな産業適用のための理想的な拡散炉です。TEL/TOKYO ELECTRON UL 2604-08は、統合された自動制御システムとその他の様々な機能を備え、信頼性が高く、堅牢で費用対効果の高い東京電子の拡散炉です。