中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226252 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LSは、自動化、安全性、プロセス制御機能を備えた拡散炉およびコントローラ部品です。拡散、酸化、ドーピング、インプラント、アニーリングなどのさまざまなプロセスに適した汎用性と高効率の機器です。TEL UL-2604-08-LSにはモジュラー設計が施されており、簡単に設置、設定、操作が可能です。制御装置と拡散炉の2つの装置で構成されています。制御ユニットは、データ入力、コントロールパネル、ユーザーフレンドリーなプロセスコントローラ、さまざまなステータス監視および保護機能で構成されています。また、タッチセンシティパネルとグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、操作が簡単です。自律拡散炉は、マイクロプロセッサコントローラを介してプロセスの動作と制御を可能にします。メインゾーンと周辺ゾーンにある8つの発熱体からなるマルチゾーン加熱システムを備えています。これらのゾーンは互いに安全に隔離されており、プロセスを独立して制御することができます。この炉はまた、拡散オーブンをメインチャンバーの上に取り付け、酸化、ドーピング、注入、アニールなどの複数のプロセスを同時に動作させることができます。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LSには、安全なシステムターンオンのためのキースイッチインターロック、緊急停止ボタン、プロセスを正確に監視するための温度センサー、圧力センサーなど、さまざまな自動安全およびプロセス制御機能があります。この拡散炉には、後処理および分析に使用できるプロセスデータをキャプチャするためのデータロガーも装備されています。さらに、炉および制御部品は、二重安全手順、制御パワーモニタリング、各ゾーンのリードスルー配線を含む最大限の運用安全のために設計されています。また、フィードスルーの水平通路のためのステンレス製の容器を備えています。全体として、UL-2604-08-LSは複雑なプロセスに適した信頼性が高くユーザーフレンドリーな拡散炉およびコントローラー部品であり、簡単に構成および操作することができます。その数多くの強化された安全性と制御機能により、生産要件に最適です。