中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LS #9226251 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LSは、半導体デバイスの工業生産用に設計された拡散炉です。P型の加熱ゾーンとN型の冷却ゾーンを備えた2ゾーンの水平炉で構成されています。加熱ゾーンは、1200˚Cまで温度を発生させることができる抵抗ヒーターを使用して加熱されます。冷却ゾーンには強制空冷装置があり、200˚Cの温度に達することができます。どちらも、より均一な拡散プロセスのための均一な温度分布を持っています。TEL UL-2604-08-LSには、PIDコントローラー、タイマー機能、タッチスクリーンLCDを搭載したモダンなコントローラーを搭載し、操作が簡単です。コントローラは、最大100ステップと3パターンの複数のプログラムを実行して、自動シーケンスを実行できます。また、自動温度装置（ATD）とクイックチルトデバイス（QTD）を搭載し、部品の積み降ろしを容易にします。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LSは、最適な安全動作を保証するために、さまざまな安全機能を備えています。汚染されたガスを収集するための排気装置、緊急停止スイッチ、煙と火災検知のための自動火災警報機を備えています。さらに、炉はオプションの安全モニタツールを使用して、すべての安全対策に従うことができます。主要な拡散炉とは別UL-2604-08-LS、プロセスをさらに効率的にするさまざまなアクセサリ機器も含まれています。部品の積み降ろしを容易にするための内部リフト資産と、プロセスガスのより効率的な配送のための炉インサートが含まれています。また、プロセスガスの正確な制御を可能にする本質的なガスモニターモデルも備えています。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-LSは半導体デバイスの工業生産用に設計された拡散炉です。PIDコントローラ、タイマー、ATD、 QTD機能などの高度な技術と、完全な安全機能を備えています。さらに、アクセサリーの包括的なリストは、機器を非常に効果的かつ効率的に幅広い用途に。