中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226258 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HSは、比類のない拡散炉とアクセサリ性能を提供します。このモデルは、高度な半導体アプリケーション向けに設計されており、さまざまな超低温度プロセスに最適です。4インチ、25ポジションカセットヘッド、8インチクォーツヒーターを備えたシングルサーマルゾーン装置です。熱帯は温度および均一性を制御し、管理するために設計されています。さらに、プロセスを最適化するための自動石英管フロー制御を利用しています。炉の全体寸法は1200 mm（高さ）と1900 mm（長さ）です。TEL UL-2604-08-HSは、広い温度範囲（最大1,400°C）と± 2。0°C （1𝛅）の低温均一性を備えています。温度制御は、5。7インチのカラーディスプレイを備えたプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を介して行われます。その他の機能には、熱流束の計算を使用したプロセス制御、統合アナライザによるin-situ O2制御、コンピュータのネットワークにリンクする通信機能などがあります。単位は温度の均等性およびプロセス反復性を保障する高度の設計特徴が装備されています。ヒーターの高精度の抵抗スパイラルヒートラップカートリッジは優秀な温度の均等性を提供します。統合ヒーターファンは、半導体ウェーハ全体の温度分布を最適化するのに役立ちます。ヒーターに接続された自動エアバッフルは、追加の温度均一性と一貫したプロセス分布を提供します。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HSマシンは、ユーザーとプロセスを保護するための高度な安全機能も提供します。加熱チャンバーの温度を監視するために、高温リミットスイッチが使用されます。それはヒーターから下流の温度の変動を検出でき、危険な動作温度が検出されれば自動的に用具を締めます。自動チャンバーのドアロックにより、プロセス中にチャンバが安全であることを保証します。UL-2604-08-HSに統合された自動ドアのロック解除資産があります。このモデルは、PLC機器または外部制御を介して手動でトリガーできます。ヒーター、石英管、ヒーターファン、温度制御を備えた単一の統合パッケージは、効率的で信頼性の高い拡散炉とアクセサリーシステムを提供します。