中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226257 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS
ID: 9226257
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1989
Diffusion furnace, 6" 1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HSは、産業用拡散炉および関連アクセサリーで、産業用途の部品を安全かつ効率的に加熱および冷却するように設計されています。TEL UL-2604-08-HSモデルは、垂直炉室と炉室に取り付けられたホットサイドで構成されています。炉室の内部容量は400リットル、使用可能な作業スペースは350リットルで、8つのセグメントが個別に制御されています。炉はまた冷却空気送風機装置および2つのプログラムコントローラーを含んでいます:マスターコントローラーおよびスレーブコントローラー。マスターコントローラは8つのセグメントの温度プロファイルを制御しますが、スレーブコントローラは、加熱および冷却設定ポイント、ヒートアップおよびクールダウンレート、およびホットゾーン温度などのさまざまな動作パラメータを導入するための入力端子として機能します。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HSの最大出力定格は60kW、最高温度は1300°Cです。コントローラには64ステップのプログラマブルランプがあり、各セグメントの温度を正確かつ繰り返し制御できます。また、高性能な熱処理システムを使用して、炉全体で高い均一性を実現することができます。炉は多数の付加的な安全特徴と設計されています。これらには、安全扉インターロック、機械的/熱過負荷リレー、過熱保護、アンチロックユニット、フェイルセーフマシンと低温の「ブレークアウェイ」機能を備えたボトムスライディング煙突ドアが含まれます。UL-2604-08-HSには、ワークフローと効率を向上させるための複数の追加アクセサリが含まれています。これらには、プローブフィードスルーツール、温度および水センサー、塩素分析装置、ガス移動資産、3つの独立したガスパネルシステム、真空モデル、電源サージプロテクター、および緊急電源装置が含まれます。TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HSは、これらのすべてのコンポーネントを使用して、さまざまな産業、実験室、研究用途に最適なツールです。
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