中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226254 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS
ID: 9226254
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1988
Diffusion furnaces, 6" 1988 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HSは、半導体・電子産業のニーズに合わせて設計された水平拡散炉とアクセサリーパッケージです。この炉は最大1200°Cの高温温度が可能で、高度なアニールから複雑なケイ酸化プロセスまで、さまざまな用途に使用できます。また、より高いプロセス効率と信頼性を提供する冷却機能も備えています。TEL UL-2604-08-HSのチャンバーには最新のコンピュータ式温度制御が装備されており、TEL規格に準拠した精度を実現しています。圧力、ガス、石英制御の入力も可能です。ガスシステムは、プロセス全体にわたって信頼性の高い再現可能な条件を保証します。その他にも、サンプル内蔵の2つのコンパートメント、東京エレクトロンTi-QCC製の高温チャンバー、幅広い安全動作設定があります。TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HSは、機械やレシピを簡単に制御できる使いやすいソフトウェアを備えています。グラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーは関連するプロセスパラメータをすばやく調整し、操作を監視し、トレーサビリティのためにオペレーティングデータを記録することができます。このパッケージには、サーマルセンサー、サンプル加熱源、および電気ダウンローダモジュールなどのいくつかのアクセサリも含まれています。すべてのアクセサリーは、UL-2604-08-HSの高度な機能を使いやすくし、ユーザーがマシンから可能な限り最高のパフォーマンスを得ることを保証します。TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS拡散炉とアクセサリーパッケージは、あらゆるプロセス要件を満たす信頼性の高い強力なツールをユーザーに提供します。高温、高精度温度制御、安全な動作パラメータ、およびソフトウェアと付属のアクセサリを達成する能力は、お客様の正確なニーズを満たすために高性能の炉を探しているときに最適です。
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