中古 TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS #9226253 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HS
ID: 9226253
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1989
Diffusion furnaces, 6" 1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HSは、半導体生産のために設計された多機能拡散炉およびアクセサリーです。TEL UL-2604-08-HSは、最大355KHzで動作する高速パルス判別装置を備えており、非常に高速なプロセスを実行することができます。また、400〜1100°Cの範囲で最大動作温度を変更できる独自のヒーター制御プログラムにより、温度制御精度を向上させた東京電子UL-2604-08-HS。このデバイスはまた、加熱プロセス全体でゼロ酸素消費を保証するガス遮蔽システムを備えています。UL-2604-08-HSはまた炉ができるだけ安全に作動することを保障するために外的および内部状態を監視する安全試験機が装備されています。磁力レーダーは、精密な温度制御と熱衝撃の除去に必要な低振動を保証します。また、TEL/TOKYO ELECTRON UL-2604-08-HSは、プロセスの段階に応じて圧力を調整できる特殊なプロセス圧力フィードバックプログラムで設計されています。TEL UL-2604-08-HSは、拡散、酸化、アニーリング、層形成、CVDプロセスなど、さまざまな用途に最適です。低電圧・低温主な拡散プロセスと高速プロセスの超高速パルス判別を実現します。そのガスシールドユニットはまた、プロセス全体を通して窒素大気のアクティブなメンテナンスを可能にします。東京電子UL-2604-08-HSは、効率的で信頼性の高い拡散炉とアクセサリーです。高度な制御装置、温度精度、安全試験機により、さまざまな生産プロセスに適しています。このデバイスには、強力で低振動の磁力レーダーと、酸素消費を排除するガスシールドツールが装備されています。高速、高精度のプロセスをお探しの方には、UL-2604-08-HSが理想的な選択です。
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