中古 TEL / TOKYO ELECTRON UHO-2505 #9112862 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UHO-2505は、特殊な成膜用途向けに設計された拡散炉です。上下開閉式の蓋と最大1100°Cの最高温度範囲を持つ垂直炉です。長方形のインナークォーツサセプターを搭載し、室内でも加熱し、外部からの汚染を防止します。炉には高性能コントローラが装備されており、温度プロファイル、各ステップの時間、ランプレート、およびその他の変数をプログラムできます。また、手動操作と自動操作の両方をサポートしているため、さまざまなラボアプリケーションに適しています。このシステムには、2つの独立したPIDコントローラが装備されており、正確な温度制御と圧力と温度の連続測定が可能です。TEL UHO-2505の内側は、グラファイトサセプタートレイ、発熱体、ガス処理装置で構成されています。発熱体は、低熱勾配を維持しながら炉室内の均一な温度を確保するように設計されています。グラファイトサセプタートレイは、均一な温度分布と効率的なウェーハ処理を可能にします。TOKYO ELECTRON UHO-2505のアクセサリーには、効率的なガス排気用の排気ファンとベンチュリマニホールド、プラズマ密度を制御するRFインピーダンスマッチングネットワークが含まれています。ユーザーはまた炉の中の圧力を自動的に制御するために排気ラインに比例弁を取付けることができます。UHO-2505は実験室の適用の範囲のために適している信頼でき、耐久の拡散炉です。そのコンパクトな設計のおかげで、炉は様々な場所に設置することができ、簡単に輸送できます。温度制御の高性能コントローラと精度により、高品質の結果を得ることができます。堅牢な構造とアクセサリーにより、拡散炉の用途に最適です。