中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-M #293595800 を販売中

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ID: 293595800
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
Vertical LPCVD furnace, 12" CIM: SECS-GEM Process: LTO Oxide (2) FOUPs KHI Handler system Rapid cooling unit UPS 208 VAC Gas detection box 2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-Mは、TELが設計・製造した拡散炉・アクセサリーです。この拡散炉は、薄膜蒸着、ドーピング、ドライブインプロセスの製造用に設計されており、先進的な研究開発および産業用薄膜プロセスの究極のツールです。TEL TELINDY Plus-I-M拡散炉は、950°Cまでの均一な温度を生成する誘導カップリング方式の技術を使用しています。この拡散炉はまた、非常に高温で作業する際に最大限の安全性を確保するために石英ガラス加熱室を備えています。最大圧力600 Torrの東京エレクトロンテリンディプラスI -M拡散炉は、あらゆる拡散駆動アプリケーションに対応できます。この拡散炉には自動制御装置も装備されており、各プロセスを安全かつ効率的に正確かつ予測的に制御することができます。TELINDY Plus-I-Mには、ガス制御装置、ガス相リアクタント供給システム、温度測定装置、真空インバータなど、さまざまなアクセサリがあり、安定した処理環境を実現しています。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus-I-Mは、運転中のオペレータの安全を確保するために、温度や電気的異常の予期せぬ増加を排除する外付け過熱および接地断層連動機を備えています。また、コールドトラップとホットトラップの両方を備えたマルチトラップ設計により、収集効率の向上と優れた安全性を実現しています。TEL TELINDY Plus-I-M拡散炉は、微細な特徴と温度の均一性の精密制御のための最高の生産需要を満たすように設計されています。この拡散炉は、正確に制御された加熱および冷却、短い処理時間、および優れた安全機能を備えており、先進的な産業薄膜プロセスで働く人々にとって理想的な選択肢です。
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