中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293597784 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-Kは、様々な薄膜成膜および加工技術に使用されるエッチャーまたはアッシャーの一種です。主に半導体デバイスの製造に使用されます。TEL TELINDY Plus ALD High-Kは、プロセスの再現性を可能にする非常に安定した再現性の高いレシピ管理装置を備えています。エッチャーはまた、クリーンな製造を保証する低粒子カウント設計を持っています。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-Kは、薄膜成膜とエッチングの総合システムです。1。3x10-6 Torrまでの真空互換性があり、マルチウェーハバッチユニットを備えています。このエッチャーには、生産性と納入性を向上させた連続加工および成膜技術を実行できるマルチチャンバーマシンも装備されています。このツールには、いくつかのソースラインも含まれています。ICP （Inductively Coupled Plasma）ソースラインは、エッチング、アッシング、沈着などの直接プラズマプロセスを可能にします。磁性線源にはリアクティブイオンエッチング（RIE）機能もあります。チャンバーには、超高真空処理用に設計されたレシピ制御のプログラム可能な温度チャンバーがあります。また、O2センサーやH2センサー、反応チャンバ連動アセット、汚染時の生産停止など、さまざまな安全機能を備えています。さらにデータロギング装置を搭載しており、ウェーハの加工や成膜結果の記録が可能です。TELINDY Plus ALD High-Kは、あらゆる半導体デバイス生産ラインに効果的かつ効率的に統合できる信頼性の高いエッチングシステムです。さまざまなエッチング、アッシング、その他の薄膜成膜作業に使用できる汎用性の高いツールです。堅牢なインフラストラクチャと安全機能を備えており、クリーンで効率的な生産を保証します。