中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA Nitride #9253033 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA窒化物は、電子機器製造の要求に応えるために設計された拡散炉とアクセサリーです。窒化物炉は、窒化物材料を堆積させるために使用される特殊なプラズマ補助化学蒸着（PECVD）ツールです。一度に3つのウェーハを処理でき、最大1050°Cの温度に達することができます。この炉にはHL-UT処理室が装備されており、垂直または水平の処理を可能にするように調整することができます。また、上下のガス供給チャネルを装備しており、標準および高温の酸化プロセスに使用することができます。窒化物炉にはインテリジェントロジックシステムが装備されており、エラーが検出された場合は自動的に故障を検出し、シャットオフすることができます。また、ユーザーには4段階の操作モードがあり、アプリケーションの要件に応じて3つの事前プログラムされた蒸着モードのいずれかから選択することができます。窒化物炉にはRS-232シリアルインタフェースが装備されており、プロセスパラメータの監視と制御のために互換性のあるコンピュータシステムに接続することができます。また、調整可能な機能を備えた最大24個のレシピを保存できるため、異なるプロセスに異なるプロセスパラメータを設定できます。窒化物炉には強力な石英ランプが装備されており、パルスごとに最大1200mJを提供し、シールドシートによって保護されています。このランプは、化学蒸着やスパッタリングなど、さまざまな蒸着プロセスでの使用に適しています。それはまた、2万時間の保証された寿命で、長年にわたって持続するように設計されています。窒化物炉は、オペレータの安全を確保するために提供されるガス検出器と切断スイッチの両方で、高レベルの安全性を提供するように設計されています。さらに、炉の速く、安全なシャットオフのために緊急停止ボタンが利用できます。窒化物はまた、チャンバーの温度をすばやく低減する冷却システムを備えており、それを開くことができ、処理後に取り出される処理されたウェーハ。全体として、TEL TELFORMULA窒化物は強力で信頼性の高い拡散炉であり、電子機器の製造に最適です。操作が簡単で、プロセスパラメータを柔軟に制御でき、安全で信頼性の高い操作ができるように設計されています。