中古 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA 1-H #9206524 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA 1-H拡散炉は、インラインウェーハ加工の最先端の技術です。このシングルウエハ、垂直負荷拡散炉は、高精度の均一性と再現性を提供します。その定流式電気炉加熱ガス装置は、大気と温度を超微細に制御するプレミアムウェーハ加工に信頼性の高い結果を提供します。TEL TELFORMULA 1-Hは、最大1000°Cの温度に達することができ、自動圧力制御（APC）システム、および精度と精度を確保するために高コントラスト温度表示計（HTI）を備えています。その作り付けのノズルは均一なガスの流れおよび急速なガスのパージの機能を提供する簡素化されたガス配達道と設計されています。東京エレクトロンテルフォームラ1-Hの低均一ワークロードをサポートする構造は、特に高効率ウェーハ処理用に設計されています。また、低圧かつ高精度なウェハプロセスシーケンス制御により、プロセスの最適化が容易になります。これにより、ウェーハ処理のコストが大幅に削減されます。TELFORMULA 1-Hは、インテリジェントなプロセス同期制御、温度均一認識ユニット、および自動ウェハローディングおよびアンロード機を備えています。これにより、従来の拡散炉よりも生産性がはるかに優れています。さらに、最新のユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、膨大な数のレシピステップを実行できるため、複雑なウェハプロセスに最適です。安全を確保するため、TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA 1-Hには、緊急シャットオフスイッチ、パージガスエアフローモニター、炉の雰囲気をリアルタイムで測定する赤外線ピロメーターが装備されています。TEL TELFORMULA 1-H拡散炉は、高度な機能、精度、再現性を備え、ハイエンドのウェーハ加工に最適です。その信頼性の高い技術により、一貫した結果が保証され、インテリジェントなユーザーインターフェイスにより、ウェーハプロセスの簡素化と最適化が可能になります。