中古 TEL / TOKYO ELECTRON SD-910-3YN #9131946 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SD-910-3YNは、高性能半導体製造用途向けに設計された先進的な拡散炉およびアクセサリーです。拡散、酸化、アニール、蒸発等、多種多様な製造工程での使用に適しています。TEL SD-910-3YNは頑丈なステンレス製のチャンバーで構成されており、耐久性とメンテナンスが容易です。また、高度なプロセス制御装置と自動温度制御を備えており、正確かつ再現可能な加熱および冷却温度を実現します。また、ガス流量の検出・調整が可能な大気制御ポンプを搭載し、信頼性の高いガス制御や標本の均一な加熱・冷却を維持します。TOKYO ELECTRON SD-910-3YNは、運転中の粒子発生を最小限に抑える防汚設計を採用しています。これは、加熱された合金ガス噴射チャンバーと水冷空気/ガス洗浄ユニットの使用によって達成されます。統合されたアンチバンピングノズルは、チャンバー内の熱均一性を確保し、ホットスポットまたは冷却不規則性を排除します。これは、アニールなどの困難なプロセス反応に特に重要です。SD-910-3YNはまたエッチングおよび他のスパッタリングのプロセスの間に層の厚さを正確に制御する強力なモータードライブが装備されています。これは、クローズドループ制御機を使用して、堆積/エッチング速度を制御して層の厚さを微調整することによって実現されます。また、地上電圧を監視し、安全な動作を確保するためにそれに応じて出力を制御する高度な電気安全ツールを備えています。TEL/TOKYO ELECTRON SD-910-3YNもユーザーフレンドリーなインターフェースで設計されており、簡単な操作とメンテナンスが可能です。カスタマイズされたアーキテクチャと自動レシピローディングオプションにより、この拡散炉は半導体産業の生産プロセスにとって貴重なツールとなります。TEL SD-910-3YNは多目的で信頼性の高い拡散炉とアクセサリーで、製造プロセスの合理化を支援し、プロセス全体の効率と信頼性を向上させます。その高度な機能と堅牢な設計により、高性能な半導体製造のための貴重なツールとなります。