中古 TEL / TOKYO ELECTRON M560A #293597892 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON M560Aは、半導体製造用の先進的な拡散炉およびアクセサリーです。この革新的な装置は、高性能、最大効率、および最高温度の均一性のために設計されており、ナノワイヤなどの複雑な構造の正確な測定を可能にします。これは、真空/冷却チャンバー、石英プレート、サセプター、ウェーハホルダー、圧力センサーなどの付属品の炉室と付属のセットで構成されています。炉の部屋に2つのセクションがあります。上部には発熱体、熱電対、ミラーが配置されており、トップダウン放射加熱を行うことで温度の均一性を高めています。下部はガス入口、ポンピングユニット、温度センサーで構成されています。これにより、装置は独立した温度設定を正確に測定および維持することができ、密閉された環境で追加の熱制御を提供することができます。付随する付属品は高い熱衝撃の抵抗および長期安定性を保障するために水晶から成っています。クォーツプレートはサンプルを配置するベースとして機能し、サセプターはサンプルを加熱ゾーン全体に運びます。ウェーハホルダーは、調整可能なスプリング張力でウェーハに安定したプラットフォームを提供します。圧力センサは、システムが均一なガス分布に最適な圧力を維持するのに役立ちます。TEL M560Aは、トップダウンとボトムアップの両方の放射加熱を組み合わせた包括的な加熱機構を採用しています。この優れた方法により、このユニットはプロセスにおいて前例のない温度均一性を提供することができ、必要なレベルを維持するために単一電源設定のみを必要とします。拡散炉には空冷機が内蔵されており、サンプルを迅速に冷却することができます。安全性に関してM560A、厳格なガイドラインに従い、最高の安全性と運用基準を確保しています。このツールは、過度の温度から保護するためのさまざまな安全インターロックと、予期しない動作を防ぐためのドアコントロールを提供します。さらに、革新的な水冷アセットは、モデルが過熱するのを防ぎ、ユーザーに追加の安全性を提供します。全体として、M560Aは高度な拡散炉とアクセサリ機器であり、複雑な半導体デバイスの製造作業に優れた温度均一性と制御を提供します。洗練された安全機能と優れた加熱ユニットにより、比類のない精度と信頼性を提供します。この革新的な装置は最高の性能レベルを提供するように設計されており、メーカーは最高品質の結果を出すことができます。