中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #9389914 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dは、半導体プロセス技術のために設計された最先端の拡散炉とアクセサリーです。TEL IW-6Dは、熱酸化プロセスを用いてドーパントをウェーハに拡散させるために使用される炉です。このプロセスは、半導体デバイスの電気特性を向上させ、また、高いおよび超高スケールの統合のための適合性を高めます。TOKYO ELECTRON IW-6Dは、インテリジェントなPIDコントローラによって制御される同位体水素アンビエントを備え、プロセス制御と再現性を最適化します。この炉には急速な冷却技術も搭載されており、わずか数分でプロセスを完了することができます。さらに、IW-6Dはモジュール設計を採用しており、CMP （Chemical Mechanical Planarization）などの異なるプロセスに簡単に設定できます。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dには、拡散プロセスができるだけ正確かつ安全に実行されるように、いくつかのキーアクセサリーが装備されています。クールダウンまたはパージ中に拡散室を遮断する自動ゲートバルブが提供されます。この炉には、ウェーハを室内に安全に運ぶためのクォーツるつぼと、室内温度を維持するために使用できるセラミックポンプが付属しています。この装置には、長期的なプロセスを汚染から保護するために設計された窒素ガスパージなどの安全機能がさらに装備されています。また、TEL IW-6Dには安全性を高めるための緊急シャットオフスイッチが内蔵されており、拡散後に炉を冷却するための外部給水/ドレイン接続も備えています。東京電子IW-6Dは、半導体製造に欠かせないデバイスです。その特徴は正確で安全な拡散プロセスを保証し、モジュール設計は多様なアプリケーションに必要な柔軟性を提供します。この装置のステンレス鋼の構造そして耐久の部品はそれを信頼でき、有効な拡散炉にします。