中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #9148336 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D拡散炉は、シリコンウェーハの高精度拡散処理を必要とする用途に使用される高効率で高精度な熱処理装置です。この技術的に高度な拡散炉は、効率的な低圧プロセス性能を可能にするために、単一のステージ垂直PECVDチャンバーと独自の2レベル加熱設計を利用しています。拡散プロセス中に温度プロファイルを連続的に調整して動作し、不要なエッチングを低減し、優れた均一性と生成速度を提供します。その正確に設計された熱力学および調節可能なヒーターの近接は優秀な温度調整および均一性を可能にします。TEL IW-6D拡散炉には、製造およびミッションクリティカルな用途を念頭に設計された高度な超高純度ドアアセンブリが付属しています。この効果的なドアシステムには、酸素注入ポート、ダミーウェーハ、複数のバルブなどのさまざまなコンポーネントを取り付けることができます。東京電子IW-6D拡散炉には、リアルタイム制御システムが搭載されており、技術者がプロセスを簡単かつ迅速に監視できるようになっています。このシステムは、拡散炉のデータを制御するだけでなく、お客様の要求に基づいてさまざまなプレセットレシピを統合することができます。IW-6D拡散炉はまた極度な安全および信頼性と作動します。火災検知器や振動センサーなど、さまざまな安全センサーを備えており、デバイスがスムーズに動作するようにしています。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D拡散炉は、内部または外部の衝撃や振動からも保護され、プロセスを妨げる可能性があります。また、TEL IW-6D拡散炉は、量産用途のみならず、小規模なウエハ加工や表面処理にも対応可能です。ウエハサイズは直径200mm〜長さ5インチまで対応可能です。東京電子IW-6D拡散炉は、デバイスと交換可能なウェーハホルダーの助けを借りて、さまざまな種類とサイズのウェーハを収容することもできます。IW-6D拡散炉は、優れた結果を生み出す効率的で正確な拡散プロセスを提供します。その高度な技術と安全機能により、さまざまな産業用途に最適です。この拡散炉は非常に信頼性と費用対効果が高く、シリコンウェーハの高精度拡散処理を必要とする人に最適です。