中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798924 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dは、TEL製の拡散炉・アクセサリーです。半導体デバイス製造のための熱処理および拡散プロセスのための高効率、高品質の炉です。温度範囲は200°C〜1400°Cで、アニール、ボンディング、SiGe成膜、浸透に使用できます。TEL IW-6D中空カソード炉を搭載し、高効率で高温反応をスムーズかつ正確に行うことができ、複雑な拡散プロセスシステムをシームレスに処理できます。東京電子IW-6Dは、シリコン、ゲルマニウム、その他のCVD材料、酸化物、窒化物など多種多様な材料を扱うことができ、小規模から大規模生産に適しています。これは、高度に適応可能であるように設計されており、幅広いプロセスパラメータと大気制御を可能にします。また、表面処理の異なるサンプルの加熱や拡散IW-6D正確に制御するために使用することができます裏面プラテンなど、利用可能なアクセサリーの多種多様を持っています。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dは、温度アラーム、ロックアウト/緊急停止、温度制御など、安全性を高めるための幅広い機能を備えています。また、炉部品の酸化物形成を低減するための独自のガスパージシステムを備えています。また、アクティブな窒素大気制御システムを備えており、処理中に望ましい大気を維持することができます。TEL IW-6Dは、半導体デバイスの製造とウェーハベークアウトのための費用対効果の高いソリューションです。それは信頼性のために造られ、改善された安全、正確さおよび効率のための広い特徴を提供します。アニーリング、ボンディング、CVD成膜、ウェハベーキングなど、さまざまな用途に使用できます。難しく複雑なプロセスシステムに最適なソリューションです。