中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798922 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dは、高性能拡散工程に特化した拡散炉・アクセサリーです。上部から垂直に調整可能な3つのゾーンを備えた200mm x 300mm垂直ヒーターストリングは、最大3つのウェーハで均一な温度制御を同時に実現します。高品質な層の形成と昇華Cl率の低下を可能にし、TELの熱放射特性を低下させることで、プロセス中のウェーハの高いスループットIW-6D保証します。東京電子IW-6Dには、調整可能な背圧、ガス純度、ガス分布、ガス流量、ガス圧力などの一般的なプロセスシミュレーション機能が搭載されています。ガス分析システムはIW-6Dと統合されており、オンラインプロセスレビューと調整のためのリアルタイム分析と、収集後のオフラインプロセス分析の両方を提供します。これは、均一なガス分布のための調整可能なガス入口旋回装置と最適なプロセス制御のための調整可能な背圧レギュレータを備えています。また、TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dは、設定点間の急速な温度調査を可能にする調整可能なランプレートで設計されており、冷却ゾーンを通じて低速制御されているため、過熱浸漬時間によるウェーハの劣化を防ぎます。また、複数のHモードヒーターを使用して均一な温度勾配を提供します。これらの機能はすべて、TEL IW-6Dの高品質でクラス最高のパフォーマンスに貢献します。TOKYO ELECTRON IW-6Dは、プロセスチャンバー内でさまざまな設計ルールを再現し、重要なプロセスを完全に再現することができます。自動化されたプロセスコントローラは、半導体業界で必要とされる技術的かつ再現可能な方法でさまざまな設計ルールを再現する機能を提供します。さらに、IW-6Dには、統合されたクォーツビューポートとウェーハアライメントドアが装備されており、ユーザーはアライメントを確認し、プロセス条件を確認することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dは、Ethernet監視サービスを通じて複数のプロセスおよびツール監視機能を提供し、セキュアなリモートサービスとユーザーのサイトからの制御を提供します。このサポートには、診断、ローカルインジケータディスプレイ、およびハードウェアおよびソフトウェアモニタおよび制御が含まれます。最後に、TEL IW-6Dには安全インターロックや緊急停止などの安全機能が搭載されています。その安全情報は、必要に応じてスムーズな操作のために表示され、アクセス可能です。TOKYO ELECTRON IW-6Dは、高いスループット、高品質層形成、再現性の高い高性能プロセスを実現するために設計された拡散炉およびアクセサリーです。それは優秀なプロセスシミュレーション機能、調節可能な傾斜率、低い熱勾配、ガス分析システム、自動化されたプロセスコントローラ、統合された水晶ビューポートおよび信頼でき、一貫した操作のためのさまざまな安全特徴が装備されています。これは、優れた層の形成と最高の再現性を必要とするアプリケーションに最適なツールです。