中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798920 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dは、先端半導体デバイスの一貫生産を目的とした拡散炉および関連アクセサリーです。基本的な設備は拡散炉とコントローラキャビネットで構成され、幅広い高度な生産ニーズに柔軟性を提供します。この拡散炉にはワーク搬送ロボットが装備されており、複数のウェハを同時に搬送・加工することができます。これは、単一およびマルチステッププロセスレシピの様々なサポートし、いくつかのステップにわたってマイクロエレクトロニクスデバイスの広い範囲の生産を可能にします。工作物の部屋は工作物の温度とは独立した熱い壁の区域および冷たい壁区域を含んでいて、最適プロセス性能のための部屋中のきれいな、均一な温度配分を提供するように設計されています。このシステムのインテリジェントなロボティクスにより、高速なウェーハ転送と完全な自動化されたプロセスシーケンス制御が可能になります。TEL IW-6Dには、プロセスの最適化と均一性を実現する最新のコンピュータ支援コントロールユニットが装備されています。プリセットプログラム用のメモリだけでなく、さまざまなセンサー、アラーム、シャットダウンスイッチ、および高レベルの動作安全のためのフェイルセーフメカニズムが含まれています。さらに、ガスフローミキサー、真空機、空冷工具を装備し、プロセスチャンバー全体にガスを効果的に分布させることができます。TOKYO ELECTRON IW-6Dは、2,000Cの最高温度を有し、最新の金属建設技術を使用して製造されています。それは真空堅く、拡散プロセスで使用される高温に抗するために造られます。また、高信頼性の水平シングルシャッター冷却モデルを搭載し、安全な窒素フラッシング機構を搭載し、緊急時に機器を迅速にシャットダウンします。この拡散炉は、異なるプロセスレシピを処理することができ、広範囲の拡散プロセスに適しています。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスにより、プロセスパラメータの設定に大きな柔軟性をもたらします。制御システムはまた、リモート操作とデータロギング機能をサポートしており、プロセスの制御を強化し、手動による介入の必要性を減らすことができます。IW-6Dは、優れた精密な性能を提供する高度な拡散炉とアクセサリーユニットです。先進半導体デバイスの一貫生産に最適です。