中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798918 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dは、高生産性と機器の歩留まりを追求した拡散炉・アクセサリーです。これは、現在の半導体産業の大量生産に対応するために特別に設計されています。この炉には、最大6インチのウェーハ容量を持つアルミナ炉が装備されています。ヒーターやその他のパラメータを正確に監視および制御するための温度制御センサーを搭載しています。TEL IW-6Dは、高品質で高速な発熱体を使用して素早く到達できる720°Cの温度を提供することができます。プロセスの安定性と再現性は、高度なマイクロプロセッサコントローラによって強化され、生産プロセスが最適な方法で実行されることを保証します。この炉には管内圧力補償機能と、エピタキシーなどの再現可能な生産のためにプログラムする機能があります。バスタブは、簡単に抽出し、ウェーハを交換するための電源リフト装置に取り付けられています。これは、アルミ合金製の真空ベローによって行われ、抽出経路に沿って一定の圧力を確保するように設計されています。自動フィルターアラームシステムは、フィルターが真空限界に達した場合にユーザーに警告します。ユニットのコンピュータ制御フロントエンドには、タッチスクリーンインターフェイスとSiemens PLC制御が含まれています。これにより、ユーザーは関連するデータを入力し、ガス排気、ガス流量、負荷圧力などのパラメータを調整することができます。これらの機能はすべてモニターと統合されており、ユーザーは遠隔でマシンの状態を確認することができます。リモートモニタリングコントロールツールを使用すると、ユーザーは資産のコントロールパラメータ、アラーム、ログに外部からアクセスできます。これは、ダウンタイムを削減するだけでなく、操作が安全で効果的であることを保証する有益な機能です。このモデルには、他の機器との通信を容易にするI/O信号インタフェースも装備されています。必要に応じて、ユーザプログラマブルコントローラからさまざまな種類のアラームと警告を呼び出すことができます。TOKYO ELECTRON IW-6Dは、高いレベルの処理を実現する信頼性と高効率のツールです。その優れた機能により、生産スタッフが運用コストを削減し、生産歩留まりを向上させるのに役立ちます。さらに、寿命が長く、適切に維持すれば長年使用することができます。