中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293587891 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D拡散炉は、最先端の半導体加工・デバイス製造ソリューションです。TEL IW-6Dは、処理領域の温度と熱均一性を正確に制御することができます。速いウォームアップやクールダウン、正確な温度制御などの機能により、この機器は非常に信頼性が高く汎用性が高くなります。TOKYO ELECTRON IW-6Dは、1400°Cまでの急速かつ均一な加熱を可能にするために特別に設計された窒素密封プロセスチャンバーを備えています。優れた温度性能により、温度とNF拡散に対する正確な制御が保証され、炉は速いウォームアップとクールダウンを提供します。2つの速度加熱のような特徴IW-6D、正確な温度プロファイルを達成することができます。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dはエピタキシー、拡散、熱酸化など様々なプロセスレシピに対応できます。ユーザーフレンドリーなGUIにより、スムーズなプロセス設定と操作が可能です。TEL IW-6Dには高品質のSafety Viewerと緊急時スイッチが装備されており、プロセスチャンバーを安全に監視できます。TOKYO ELECTRON IW-6Dに加え、様々な素材の加工に最適なアクセサリーを提供しています。これらには、ウェーハ冷却プロセスの均一性を確保するためのウェーハ、サセプター、およびシャッターシステムが含まれます。IWT拡散炉には、製造時に均一なウエハーマウントを容易にする効果的な静電チャックが付属しています。高度な熱処理ソリューションとして、IW-6Dは信頼性を維持しながらデバイスのサイズを大幅に削減します。最高の精度と精度を念頭に置いて設計されており、最小のフットプリントで望ましい結果を達成するための効果的なソリューションを提供します。その特徴、温度、および付属品はそれをあらゆる製造工程のための理想的な選択にします。