中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #195915 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dは、高精度プラズマ強化化学蒸着（PECVD）用に設計された先進的な拡散炉およびアクセサリーです。TEL IW-6Dは、特殊なステンレス真空チャンバーと、柔軟に構成可能な陰極およびガス供給システムを備えた強力なプラズマ源で構成されています。TOKYO ELECTRON IW-6Dは、直径2。6インチ、長さ12。5インチの単結晶クォーツチューブ真空チャンバーを備えています。管の部屋はOリングと密封された4つのdowelピンが付いている2つの半円筒通気式のチタンハウジングおよび2つのフランジから成っています。水晶管は電気伝導性であり、管の壁に沿ってアークを防ぐために純粋なアルミニウムでコーティングされています。さらに、管はアルミニウムブロックの二重層に囲まれており、均一なサーマルサイクル最適化のための埋め込みヒーターが含まれています。IW-6Dは手動で調整可能なモードを備えた標準的なRF電源を内蔵しており、ユーザーは目的のプラズマ処理に正確に設定を調整できます。このデバイスは、PECVD処理中にプラズマ形成用の合計30キロワットの電力とPID温度制御用の18。6 kWの3セットを提供します。電源には、TEL-GENLOW III電源ボード、サポートバー構造、クローズドトーチ電極、アクティブ水素アラーム装置などがあります。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dガスデリバリーシステムは、4ウェイガスマニホールドと5つのガスフローコントローラで構成され、幅広いガスをプラズマ処理に配置することができます。マニホールドの総容量は300リットル/分で、0〜300 sccmの流量を正確に制御できます。このユニットは、プラズマ強化蒸着プロセスで使用する4つのセラミックプロセスガスの供給をサポートします。さらに、TEL IW-6Dは、サポートされているプロセスアプリケーション用のさまざまな先進的なアクセサリと統合する機会を提供します。ハイエンドのオプションには、特殊ガスクーラー、自動ガスミキシングマシン、低温冷却ツール、in-situ分子リアクタント資産、オートパージモデルなどがあります。また、デスクトップリモートコントロールコンソールでTOKYO ELECTRON IW-6Dを設定することも可能で、安全な距離から制御することができます。この頑丈な高度な精密拡散炉とアクセサリーは、信頼性が高く、堅牢でユーザーフレンドリーであることを証明し、応用研究所に理想的です。IW-6Dは、単一のユニット内のすべての重要なプラズマ処理パラメータを直接制御し、CVD、 PECVD、エッチング、成膜などの幅広いアプリケーションをカバーすることができます。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Dを高度なアクセサリーでカスタマイズするオプションを追加したことで、この製品が非常に求められているのも不思議ではありません。