中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6C #9148208 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6Cは、大手半導体メーカーのTEL （TOKYO ELECTRON）が開発した拡散炉・アクセサリーです。これは、MEMS （Micro Electro Mechanical Systems）、 CMOS （Complementary Metal-Oxide Semiconductor）、 TFT （Thin Film Transistor）コンポーネントの製造に使用される高度なプロセス技術のために設計されています。TEL IW-6C拡散炉とアクセサリーは、予熱部、メインセクション、冷却部で構成されています。炉は最高温度1,200°Cで動作するように定格されており、絶縁材と6ゾーンの発熱体はチャンバー内の温度の均一性を維持します。東京電機IW 6C拡散炉は、革新的なオートリゾーニング装置を備えており、ベーキングプロセス中にオーブン内の温度のバランスをとるのに役立ちます。このシステムは、6つの発熱体からの信号を連続的に変換するために自動的に動作し、処理されるウェーハへの効率的で均一な熱伝達を提供します。さらに、そのHybrid PID制御シーケンスは、ユニットの温度安定性がプロセス全体のセットポイントの0。1％以内に維持されることを保証します。TOKYO ELECTRON IW-6Cはオールアルミ合金フレームで構成されており、内部部品はアルミナ繊維やガスカーボンなどの先端材料で作られています。この炉は、オールアルミニウム化されたステンレス鋼のヒートシールド、ガス分配機、およびポートプレートを備えており、消費電力を削減し、工具全体の熱均一性を向上させるのに役立ちます。埋め込まれたタッチパネルを使用して、優れたプロセス能力のパフォーマンスを実現します。TEL IW 6Cはモジュラー設計で、ユーザーは簡単にアセットをアップグレードして自動化機能とより良い結果を得ることができます。性能、汎用性、生産性を向上させるために、さまざまな原子炉システムに接続することができます。このモデルは、単相またはデュアルフェーズモードで動作するように設計されており、さまざまなプロセスに構成することができます。TEL/TOKYO ELECTRONでは、拡散炉やアクセサリーに加え、システムの生産性を最大化するための幅広いサポートサービスやアクセサリーも提供しています。これらには、トレーニング、サービス、メンテナンス契約、消耗部品、およびその他の周辺部品が含まれます。全体として、IW-6C拡散炉とアクセサリーは、高度なプロセス技術ニーズに最適なソリューションをユーザーに提供します。高度な設計と革新的な機能により、ユーザーは高いレベルのパフォーマンスと生産性を達成しながら、運用コストを削減できます。