中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9226343 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6は、集積回路の製造用に設計された拡散炉とアクセサリーです。半導体製造プロセスにおいて、シリコンウェーハの露出面に材料を堆積させ、回路特性を高める均一なコーティングを実現する先進的なツールです。TEL IW-6は、ドーパント配分に直接イオン注入を使用する拡散炉であり、ドーパントをウェハ全体に拡散させるのではなく、直接ウェハ表面に配置するイオン注入の一種です。これは、ウェーハ表面にドーパントを届けるための理想的な環境を作成するために高温チャンバーを使用しています。TOKYO ELECTRON IW-6は、ドーピングをより均一にし、個々のドーパントの位置と深さをより良く制御することができるオープンフェイス構成を備えています。ロングラインオーブン、熱交換器、誘導ヒーター、各種アクセサリーを備えています。ロングラインオーブンは炉の外面を加熱し、熱交換器は作業室内の高温を維持します。誘導ヒーターは、オーブンの内部を加熱する電磁界を作成する2つのコイルが含まれています。さらに、炉には複数のガスラインが取り付けられており、異なるガスをチャンバーに注入することができます。IW-6は高精度なドーピングプロセスが可能です。PIDコントローラを備えており、作業室内の温度を正確に制御するだけでなく、高度なコンピューター制御装置も備えています。このシステムは、自動化された手動操作モードを提供し、プロセスを迅速かつ効率的に最適化することができます。さらに、真空測定ユニットを備え、チャンバー内の圧力を監視し、可能な限り最良の結果を保証します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON IW-6は、集積回路の製造に最適な信頼性と汎用性の高い拡散炉とアクセサリです。高精度なドーパント分布を実現し、温度制御が厳しく、高度なコンピューター制御機の恩恵を受けており、半導体業界にとって強力なツールとなっています。