中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9226342 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6は、半導体ウェーハの加工を支援する拡散炉とアクセサリーです。この拡散炉は、熱均一性の向上と低熱勾配を可能にする二次ゾーン設計を備えています。拡散プロセス中のガスの流れを制御するための6つの入口が付いている付属のガスパネルがあります。また、温度制御されたラインチェンジャーとオプションの自動ロードロックも備えています。この装置は、2つのデュアルエレメントヒーターと低熱勾配加熱チャンバを使用して、均一な温度プロファイルを実現しています。第四次暖房システムは熱勾配を減らすように設計され、1350°Cの最高温度が装備されています。必要に応じて急冷するための冷却ユニットも装備しています。拡散炉は、MOSFETベースのランプモジュールを搭載し、使いやすいオペレータインターフェイスを使用して制御されます。この炉には、拡散プロセスの進行を測定するために使用できる高精度のデータ収集機が含まれています。取得したデータは、参照用に保存し、継続的な改善に使用することができます。過熱や過剰な温度を防ぐために、加熱開始の遅延や自動停止などの安全機能が搭載されています。このツールは、リモート診断機能を備えた最新の制御アセットを備えています。また、フェイルセーフ保護モデルを装備しており、プロセス障害が発生した場合に有効になります。TEL IW-6拡散炉は、半導体の拡散を行うための信頼性の高い高性能な装置です。多くの半導体製造設備に最適なツールです。温度制御、安全機能、データ収集機能により、電子部品の加工に最適です。