中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9159178 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6はチッププロセスと生産のための拡散炉です。クオーツラインチャンバーと高精度温度制御装置を採用しています。TEL IW-6は、酸化物応力除去、LDD （Low Dielectric Diffusion）、銅拡散、SiGe拡散など幅広い用途に使用できるため、汎用性に優れています。TOKYO ELECTRON IW-6は、高い信頼性を持ち、優れた温度制御システムにより高い再現性を保証します。温度設定ポイント用のプログラマブルコントローラと、実際の設定ポイント温度を維持および調整するためのPRDN Proportional-Integral-Derivative （PID）コントローラからなる2つの独立した温度コントローラを備えています。これにより、コントローラは非常に応答性が高く正確です。拡散炉には石英製の内装が施されており、蓋には真空シールとステンレス製の重量が標準装備されています。IW-6は、低圧（LP）技術を使用して信頼性の高い安定したチャンバー圧力を形成します。さらに、低圧技術は、真空が炉内のガスの反応によって形成されるため、ポンピングユニットの必要性を排除します。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6は、低消費電力・長寿命機です。それは過熱を防ぎ、炉の生命を高める高温および酸素の枯渇の防止の技術と設計されています。さらに、パージングガス使用量を最大30％削減する再生ガス除去ツールを使用しています。TEL IW-6は、マスフローコントローラ、バルブ、熱電対、遠隔監視ユニットなど、さまざまな周辺部品をサポートしています。また、VCM （Vacuum Controller Module）とPCインターフェイスユニットを搭載し、柔軟性と信頼性を高めています。TOKYO ELECTRON IW-6は、クォーツラインチャンバーや堅牢な温度制御アセットなどを備えた高精度な拡散炉です。優れた温度制御と長寿命モデルにより、IW-6はチッププロセスと生産にとって信頼性が高く安全な選択肢です。