中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #293764341 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6は、TEL Ltd （TOKYO ELECTRON）が日本を拠点に開発・製造した拡散炉です。半導体、MEMS、データストレージ業界の熱酸化や反応イオンエピタキシー（RIE）などの拡散プロセスに使用されます。炉は単一の発熱体と設計され、6"までウエハを収容し、1100°Cの最高温度に達することができます。これは、熱酸化およびRIEプロセス用の低温キット（-50°C〜200°C）、酸化およびドーパント拡散用の高温キット（300°C〜1100°C）、 HTL+ヘッドおよび高周波プラズマ発生器などの幅広いオプションを提供します。低温キットは、精密で均一な温度制御、短いサイクル時間、最大8ウェハを保持できる0。6 「× 6」サセプター、最大出力150ワットの高周波RFジェネレータ、および特別なセラミックヒーターを提供します。高温キットは、精密で均一な温度制御も可能であり、セラミックヒーター、高温サセプター、改良されたコントローラが装備されています。HTL+ヘッドは、200°Cから1000°Cの間で非熱プラズマを生成するために使用され、エッチングプロセスで使用されます。統合された環境監視システムは炉の部屋の温度そして大気の両方の精密な制御を提供します。それは自動温度および大気制御、またプロセス制御を行うためにセットアップすることができます。TEL IW-6は信頼性が高く、操作が簡単で費用対効果の高い拡散炉です。それは均一で、精密な温度調整、広い操作範囲および低いサイクルタイムを提供します。半導体、MEMS、データストレージ業界のRIE、熱酸化、拡散プロセスでの使用に最適です。信頼できる性能と高品質の出力により、この拡散炉はバルク基板処理を行うための最良のソリューションの1つです。