中古 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 / Alpha 8S/8SE #293658183 を販売中

TEL IW-6/Alpha 8S/8SEは拡散炉とその周辺部品です。半導体デバイス製造、太陽光発電、オプトエレクトロニクスなどの用途で主にエレクトロニクス業界で使用されています。直流（DC）または無線周波数（RF）プラズマ源を使用して、制御された環境で基板を堆積、アニール、酸化またはエッチングするように設計されています。IW-6/Alpha 8S/8SEは主要な部屋、コントローラー、サポート装置、動力源および部屋の圧力制御装置で構成されます。主要な部屋はステンレス鋼の合金から成り、高温およびガスの流れの圧力に抗するように設計されています。使いやすいタッチスクリーンコントローラを備えているため、さまざまな用途で圧力、温度、ガスの流れなどのパラメータを簡単に操作および設定できます。温度範囲は室温から最大1,200°C、加工可能面積は177mm、最大基板サイズは350 x 250mmです。この炉のもう一つの特徴は、プロセス雰囲気のコンディショニングとエアシャワーシステムの組み込みです。これには、異なる処理段階でメインチャンバーの大気を選択および制御するバルブのセットが含まれています。また、不活性ガスのチャンバーをパージし、クリーンなプロセス環境を維持するために使用される超高純度Arソースを備えています。さらに、IW-6/Alpha 8S/8SEには、エッチングおよびシードアプリケーション用のRFプラズマソースが装備されています。チャンバ圧力制御ユニットは、自動化されたゲージモニターとマスフローコントローラで構成され、メインチャンバー内の圧力範囲を正確に測定および制御するために使用されます。さらに、メインチャンバー内にアイマーカー機を設置し、加工前に基板を適切に配置します。IW-6/Alpha 8S/8SEは、エレクトロニクス業界のさまざまなアプリケーションにとって信頼性が高く効率的なツールです。これは、安全性とプロセス制御機能の範囲を備えており、最適なパフォーマンスに確実に実行されます。また、CE認証とTUV認証を取得しており、アプリケーションが問題なく動作することを安心してご利用いただけます。このツールはまた、成膜、アニール、酸化、エッチングなどのさまざまなプロセスを実行することができ、非常に汎用性の高いです。インストールと使用は簡単で、複雑なエンジニアリングインストールを待たずにユーザーの迅速な納期を可能にします。その結果、高性能拡散炉や周辺部品をお探しのお客様には、TOKYO ELECTRON IW-6/Alpha 8S/8SEが最適です。このツールは、さまざまな機能と安全制御を提供し、さまざまなエレクトロニクス業界のアプリケーションにとって信頼性が高く効率的なツールです。