中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381830 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXIは、基板処理および加工技術の最新の進歩に対応するために設計された、次世代の拡散炉です。プロセスの再現性と歩留まり向上の両方を提供し、最高品質のデバイス性能を実現します。TEL Indy Plus-B-MVCKNRRTXIは、高度な技術により、金属、セラミックス、半導体、複合材料などの幅広い材料を処理することができます。TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXIには、垂直対流と水平対流の両方を使用した2つの先進炉が装備されています。垂直炉は、独立した駆動コンベアローラーとロータリーアクチュエータを使用してウェハを最適な拡散温度に移動させる多軸システムによって駆動されます。水平炉は、ウェーハを両端から加熱チャンバーに引き込み、放射および対流加熱を正確に制御します。Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI炉は、最新のペルティエ冷却システムを標準装備しています。これは、ウェーハ全体にわたって均一な温度のプローブ電流を調整する高度な画像処理システムを備えています。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXIは、マルチポイント温度プローブにより、ウェーハ全体で極めて精度の高い測定が可能で、最大4つの独立した温度ゾーンで動作できます。炉はまた、プリセットされた温度プロファイルにプロセスを実行するようにプログラムすることができます。また、TEL Indy Plus-B-MVCKNRRTXIには、独自の加熱および冷却曲線を定義できるActive温度制御ソフトウェアも付属しています。このソフトウェアは、常にデータの精度と再現性を向上させるための自己学習アルゴリズムを備えています。このソフトウェアは、炉の自動エラー処理にも機能し、エンジニアはプロセスエラーをすばやく調整または修正することができます。TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXIは、さまざまな先進的なアクセサリーにも対応しています。これには自動キャプチャベイが含まれており、簡単なサンプル処理と迅速なセットアップのための自動化されたプロセスレシピを可能にします。Indy Plus-B-MVCKNNRRTXIは、圧力、温度、速度などのプログラマブルなプロセスパラメータも備えています。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXIは拡散炉の頂点です。自動化された制御と精密エレクトロニクスにより、信頼性の高い性能と正確な測定を提供し、セットアップと操作も簡単です。包括的なアクセサリーにより、幅広いプロジェクトに取り組むことができ、優れた効率性と品質を重視するファブリケーターにとって価値のある投資となります。