中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381827 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXIは、アクセサリーを備えた垂直配置の中間歩留まりの拡散炉です。高純度半導体材料の製造に使用できます。特に層状化合物半導体の半導体生産に使用されます。大容量ウエハカセット、高温動作、精密な温度・圧力制御を特長としています。装置は主要な部屋、複数の地帯のコントローラー、排気システムおよび付属品の範囲を含んでいます。メインチャンバーには、暖房ゾーン、冷却ゾーン、観測ポートがあります。加熱ゾーンは、一度に最大150個のウエハーを収容でき、自動ローダーユニットにより、積み下ろしが容易です。加熱ゾーンはまた、半導体材料に結晶構造を作成するために使用される急速な熱窒素アニーリングを提供します。冷却ゾーンには、ウェーハを均一に冷却するための冷却チャネルがたくさんあります。マルチゾーンコントローラは、各ゾーンの温度、圧力、流量を正確に調整できます。それはまたユーザーが処理ガス、部屋の真空および癒やすガスを含む炉の中の大気を、制御することを可能にします。さらに、コントローラはカスタムプロセス制御のためのプログラム可能なレシピを備えています。排気機は主要な部屋の背部に合い、空気の効率的な避難そして取り替えのための自動ポンプ周期を提供します。これにより、キャビティ内の大気圧を正確に制御することができ、爆発のリスクを低減するのに役立ちます。さらに、排気工具には、プロセスガスから汚染物質を除去するための長寿命フィルターとスクラバーが装備されています。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXIアクセサリーには、各種クォーツ、熱電対、マルチバルブ機器、ガスパネルが含まれます。クォーツウェアには、クォーツボート、クォーツシリンダー、クォーツカプセルが含まれています。熱電対は温度の測定のために使用され、高レベル正確さを保障するために目盛りを付けることができます。マルチバルブ装置は、チャンバー内の大気を制御するための複数のバルブで構成されています。そしてガスパネルは精密なガス配達および制御のための手動および自動化された弁の範囲を特色にします。TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI拡散炉は、高純度半導体材料を効率的かつ正確に製造するための強力で精密な資産です。小型から中型の半導体製造設備に最適です。