中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381820 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNRRTXIは、プロフェッショナルグレードの熱処理環境を提供する業務において、高効率で信頼性の高いアクセサリ部品を搭載した拡散炉です。このシステムは、各種電子回路および集積回路アプリケーション用のウェーハを含む幅広い適合材料に対応できます。フィクスチャは、フィードスルー、温度センサー、気候制御コンポーネント、および制御とともに、プロセスが行われる真空チャンバーで構成されています。Indy Plus-Bは、500〜1250°Cの温度と0。5〜10 torrの最大動作圧力を提供できる垂直式拡散炉です。ユニットのフラッシュサイクルタイムは15秒で、ポンピングサイクルタイムは1時間未満です。これにより、圧力や温度の高度変化にもかかわらず、連続的に流れるプロセスが可能になります。チャンバーの直径は315mm、高さは1100mmで、ウェーハの最大荷重は6です。これは、酸化、窒化、アニール、拡散プロセスの様々な種類を提供することができます。さらに、このユニットにはOxidマスク、シャワーヘッド、および処理温度の均一性のための18リフト温度制御が含まれています。また、パルスデジタルアニーリング（Pulsed Digital Annealing）プロセスにより、各サイクルで低温と高温を交互に行うことで、より高速な温度変化と安定した熱環境を実現します。この特徴は、拡散チャンバのダイレクト・トランスファー・ヒーティング技術に加えて、外部の発熱体を使用したことと、均一な温度制御機能のおかげです。この設定では、低温と高温の期間が自動的に交互に行われるため、同様のモデルよりも高速なプロセスサイクルが得られます。このユニットには、さまざまな安全機能が装備されています。これには、自動ボトムインターロック、温度シャットオフ、およびガスフロー中断オートシャットオフが含まれており、多くのパラメータを通じて安全性を確保します。このユニットには、ウェーハの積み降ろし時の効率を向上させるためのダブルロータリー真空バルブと、耐久性を向上させるホットウォールセラミックチャンバーが含まれています。TEL Indy Plus-B-MVCKNRRTXIは、耐久部品、安全機能、および適応可能な温度制御機能を備えた高効率で信頼性の高い工業用拡散炉です。酸化、窒化、アニール、拡散などのさまざまなプロセスに最適で、最大6インチのウェーハをチャンバー内に保持します。その先進的な設計とフラッシュサイクル時間に15秒のフラッシュで、この拡散炉は、現代の電子回路および集積回路アプリケーションに最適です。