中古 TEL / TOKYO ELECTRON H-LP #9137193 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON H-LPは、高精度な熱処理を実現し、クリーンルーム状態を維持するために設計された拡散炉です。半導体製造工程で必要とされるアニール処理を行い、マイクロエレクトロニクス部品を大量生産することを目的としています。また、酸化、エピタキシー、合金化など、さまざまな熱処理を使用して多数の基板を均一に製造するためにも使用できます。TEL H-LP拡散炉は、サーマルサイクル装置、ロボット搬送装置、自動制御ソフトウェアの3つの主要コンポーネントで構成されています。熱周期の装置は暖房および冷却によって熱プロセスを制御するために責任があります。これは、最大3つのモジュールを同時に、効率的に保持するように特別に設計されています。ロボット搬送システムは、クリーンルーム環境で炉内に基板を自動的に取り出して配置する役割を担っています。自動化された制御ソフトウェアは、リアルタイムでパラメータを調整することにより、生産プロセスを監視および合理化するように設計されています。東京電子H -LP拡散炉は、熱処理の精度と効率を高めるための様々な機能を提供します。例えば、独自の強制冷却装置は、室内の材料汚染を抑えながら温度変動を制御する固定マウントタイプの送風機の空気を利用しています。さらに、自動サーボマシンにはワイヤレスリモートコントローラが装備されており、ユーザーは安全な距離からプロセスを調整して微調整することができます。さらに、ヒーターチェーンは、最適化されたPID制御アルゴリズムで動作するように特別に設計されており、チャンバー全体で均一な加熱温度を確保します。また、H-LP拡散炉は様々な安全機能を備えています。その反傾きの構造は、工具が安定していることを保証し、処理中に振動またはシフトしません。また、高度な24時間安全監視アセットを備えており、機器の状態を追跡し、問題が発生した場合にオペレータに警告します。さらに、自動充填クーラント装置は、炉が過熱につながる可能性のある高温に達するのを防ぐために、重要な時期に必要なクーラントが供給されることを保証します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON H-LP拡散炉は、クリーンルーム環境での精密熱処理に最適です。この多目的な機械は安全を高めながら正確さおよび効率を最大にする多数の特徴を提供します。そのユニークなデザインは、便利なアクセサリーと組み合わせて、それは様々なマイクロエレクトロニクス生産プロセスのための貴重なツールになります。