中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula Nitride #9222338 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラ窒化物は、非常に高い温度制御と精密なガス供給が可能な拡散炉です。メンテナンスを最小限に抑えた優れた安定性と耐久性を備え、多種多様な材料を加工することができます。このシステムは、ノズルアセンブリと精密ガス供給を組み合わせた拡散炉で構成されています。拡散炉はアルミニウムボディ、内部セラミックボディ、二重壁タイプ炉ドア、温度測定ユニットで構成されています。炉の上部には耐火セラミックローラーが搭載され、炉の下部にはセラミックテンションリングが装備されています。精密ガス供給機は、ガス混合室、複数のバルブ、圧力/流量計で構成されています。ノズルアセンブリには、ディフューザノズル、オープントップストッパー、窒素供給管が含まれています。TELフォーミュラ窒化物拡散炉は、少なくとも700Cから1100Cまでの温度で動作することができます。温度は、周囲温度と圧力のばらつきを補う内部高精度のサーマルレギュレータによって制御されます。オープントップストッパーは、材料の簡単な挿入と取り外しを可能にし、チャンバーへの酸素の侵入を防ぐことができる密閉シールを維持しながらも。統合されたガス供給ツールにより、拡散炉内のガスの種と濃度を正確に制御することができ、正確なガス反応制御を可能にします。拡散器のノズルはサンプル上の均一なガスの流れを保障し、非単一拡散の危険を減らします。東京電機フォーミュラ窒化物拡散炉は、高温拡散プロセス向けの信頼性と堅牢性を備えたソリューションで、高品質で一貫した結果を実現します。その印象的な温度精度と均一なガスの流れ、堅く信頼性の高い密閉シールは、さまざまな拡散プロセスに最適です。また、使用量が多くても寿命が長く、資産のメンテナンスが最小限に抑えられています。要するに、フォーミュラ窒化物拡散炉は、高性能の拡散プロセスのための効果的で信頼性の高いソリューションです。