中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula 2L1B #9309492 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Formula 2L1Bは、リソグラフィーベースのプロセスアプリケーションの要件を満たすように特別に設計された2段階の水平拡散炉と付属アクセサリーです。この装置は、優れた温度均一性、高いスループット、および厳しい精度を提供します。この2L1Bには、プロセスチャンバーとRTPチャンバという2つの異なる炉チャンバがあります。プロセスチャンバーは製品ウェーハを収容し、ウェーハ全体に最適な温度均一性をもたらすアッパーおよびホットプレート管によって加熱されます。ホットプレート温度は独立して調整され、各ウェーハの正確な温度制御が可能です。RTPチャンバは、急速な熱処理のために設計されており、処理時間が短縮され、スループットが向上します。2L1Bのアクセサリーパッケージには、冷却ブロワー、排気ダクト、希釈ダクト、安全パネルなどが含まれています。冷却ブロワーは、加工後の製品ウェーハの効率的な冷却に役立ち、排気ダクトはプロセスチャンバーからの排気ガスを効率的に排出します。希釈ダクトは、両方のチャンバーのチューブ温度を調整および調整するのに役立ちます。安全パネルは安全なプロセス環境を保障する連結システムを特色にします。2L1Bはまた、プロセス品質をさらに向上させるために高度な温度および水制御システムを備えています。温度制御システムは、各炉室の温度を監視および維持し、高いプロセスの均一性を確保します。この水制御システムは、温度の均一性を向上させ、優れた温度精度と安定性を提供し、優れたウェハ品質をもたらします。全体として、TEL Formula 2L1Bは、リソグラフィーベースのプロセスアプリケーションに最適です。その2段階の水平炉の設計および包括的な付属品のパッケージは優秀な温度の均等性、高いスループットおよび優秀な温度の正確さおよび安定性を保障します。この装置は、幅広いオプション機能とアップグレードを備えており、市場で最も堅牢な拡散システムの1つです。