中古 TEL / TOKYO ELECTRON APT-2800 #9280808 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON APT-2800は、半導体ウェーハ上の薄膜の成膜および/またはドーパント分離のための半導体製造プロセスで主に使用される拡散炉およびアクセサリパッケージです。ウェーハヒーターを内蔵したクォーツチャンバー構造、効率的なマッフルブロワー設計、および温度を正確に制御するためのダイレクトデジタルプロセスコントローラを備えています。パッケージは、内部に2つのウエハボートを収容するために構築され、均一なフィルム品質を確保するために革新的なガス機器を組み込んでいます。TEL APT-2800は、電気熱平衡のためのオープンループ制御システムを使用して、拡散チャンバの正確な温度制御を保証し、加熱および冷却プロセスを迅速かつ効率的に行うことができます。パッケージに組み込まれたウェーハヒーターは、300°Cから1500°Cまでの調整可能な範囲を持ち、隣接するウェーハ間の温度差を± 4°C未満で保つ加熱均一性を備えています。マッフルブロワーは、100〜180 mL/minの調整可能な空気量を介してウェーハ全体に均一な拡散を確保するために、ガスの層流を提供します。TELとJEOLユニットの両方で構成された1つのコントロールパネルをユニットに組み込み、ユーザーに正確な実際の温度制御を提供します。コントロールパネルはまた均一なプロセス制御を保障するためにフィルムの沈殿プロセスのための8つの事前設定された調理法とプログラムされます。東京電子APT-2800の革新的なガスマシンは、フィルムをウェーハに精密に堆積させるだけでなく、堆積廃棄物の削減にも役立ちます。400シリンダーの貯蔵容量は、蒸着プロセスで使用するために最大500 sccmのガスを保持することができ、その高速応答ガスの流れ調整機能は、ユーザーに完全なプロセス制御を提供します。APT-2800はユーザーの安全を念頭に置いて設計されており、幅広い組み込みの安全機能がパッケージに組み込まれています。これらの機能には、空中材料センサ、電子温度モニタ、Level Oneアラーム、および資産の故障を防止するための自動パワーオフツールが含まれます。TEL/TOKYO ELECTRON APT-2800は、半導体製造プロセスのニーズに応え、使いやすさと安全な雰囲気を提供するために設計された高度な拡散炉とアクセサリーパッケージです。このパッケージには、正確な電気熱平衡制御モデル、効率的なマッフルブロワーファン、および均一な成膜プロセスのための革新的なガス装置が装備されています。また、ユーザーの安全を確保するために、さまざまな安全機能を備えて設計されています。