中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha #293792041 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alphaは、半導体業界の様々な用途向けに設計された拡散炉および関連アクセサリーです。TELアルファモデルはステンレススチール製で、最大1200°Cまでの2サイズが用意されています。それは良質のエピタキシーのために設計され、高度の温度の均等性および制御可能性があり、高性能の再現性を提供します。TOKYO ELECTRONのアルファモデルは強力なプロセス制御装置を提供し、ガスの均一で反復可能な配分を保障します。この強力なプロセス制御システムはまたユーザーフレンドリーなPCBの設計および操作を提供します。高度なプロセスガス配送を備えており、スムーズで正確なガス交換と複雑なアプリケーションのレシピの最適化を可能にします。それに真空の下でウェーハに荷を積み、荷を下すための任意ロードロッカーがあります。アルファモデルは、麻酔プロセスのための効果的なツールであるステップボート（バスケット）機能を標準装備しています。それに正確な温度較差を保障するバスケットの温度を追跡し、制御するフィードバックの単位があります。TEL/TOKYO ELECTRONアルファモデルは、洗浄、ベークウェアの交換、設定可能なヒーターの交換、現場プロセスの測定、分析、制御など、定期的なメンテナンスのための高度な自動化を備えています。安全面では、TEL Alphaモデルは高い発電加熱ニーズに耐えるように設計されており、放射からの安全性を確保するために超薄型の真空チャンバー壁で設計されています。TOKYO ELECTRONアルファモデルは、高度な加熱性能の高度な測定、分析、およびオートメーションシステムを備えており、安全基準を満たしています。アルファモデルはまた、光学検査エリアを備えており、炉を開けずにウェーハを検査することができます。それは高度の動きの追跡機械が装備されており、処理部屋の微細な動きの変更を追跡することができます。もちろん、in-situ溶接ツールが付属しているロードロックを備えた数少ない生産モデルの1つです。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Alphaは高性能拡散炉とアクセサリー資産です。そのビルダーフレンドリーな設計と機能により、半導体業界とそのアプリケーションにとって魅力的な選択肢となります。高度な温度制御と高度なオートメーションにより、TEL Alphaモデルは効率的で正確なプロセスを保証します。その放射線遮蔽と高度なモーショントラッキングも安全で信頼性の高いモデルになります。