中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha DS10 #9381895 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha DS10は、幅広い拡散プロセスを実現するハイテク拡散炉とアクセサリーです。TEL Alpha DS10は、MOSやMEMSなどのシリコン、化合物、先進半導体デバイスの製造用に設計されています。また、アスペクト比が高く、スルーウェーハ穴がずれている場合にも対応できます。この炉には、効果的で均一なウェーハ加工のための水平シャトル、RF発電機、ガス供給装置が装備されています。TOKYO ELECTRON Alpha DS10は、拡散プロセスを支援する多くのコンポーネントを備えています。主なコンポーネントは、赤外線検出器、石英るつぼ、RF発電機、マスフローコントローラ、ガス入口、真空ポンプです。赤外線検出器は炉の温度を監視し、特定のプロセスに必要な範囲内であることを保証します。クォーツるつぼは拡散プロセス中にウェーハを保持し、RFジェネレータはウェーハの拡散を支援します。Alpha DS10は大量生産のために設計されています。1時間あたり最大1000個のウェハを積み降ろすことができる自動ウェーハハンドリングシステムを搭載しています。このユニットはデュアルチャンバー設計も備えており、2つの異なる温度を同時に適用することができます。この機械はまた、ガス保全ツールを提供し、最大30％の節電を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha DS10は、オペレータの安全性とセキュリティの高さも特徴です。炉には、高度な洗浄装置と安全監視資産が装備されています。安全監視モデルは、すべての重要なデータポイントが監視され、許容可能な運用範囲内にあることを保証します。また、内部循環ファンを備えており、チャンバー内の均一な温度と分散したガスの流れを維持するように設計されており、放射線、X線、電離放射、高電圧への曝露を監視しています。これらの機能のすべては、機器が効率的かつ安全に動作していることを保証することに焦点を当てています。全体として、TEL Alpha DS10は、最先端の半導体製造のために設計された高性能で洗練された拡散炉とアクセサリーです。これは、高い精度、再現性、および拡散プロセスの安定性を提供し、オペレータに最高レベルの安全性とセキュリティを提供します。