中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293830601 を販売中
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ID: 293830601
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2019
Furnace, 6"
Process: Poly
SECS/GEM
(5) Zones
CE Mark certified
System controller: WAVES
Temperature range: 500-1000°C
Temperature controller: 560-A
Front surface finish: White
O-Ring tube seal
Signal lamp tower
Gas leak detection
Wafer type: FLAT
Wafer handler type: 5 Fork
Fork material: Alumina
Stocker: 21 Carrier
Load size: 170
Transfer stage wafer position sensor
Fork wafer position sensor
MFC type: Horiba STEC
Pressure display units: MPA
Control pressure sensor: MKS 623B
Main valve heated lines
TORR and MPA Pressure display units
CKD-VEC-R Main valve
Cooling water connection: Bottom
Incoming gas connection: Top
Vacuum foreline: Bottom
Furnace exhaust connection: Top
Vent exhaust connection: Top
Gas unit exhaust connection: Top
Pressure relief drain: Bottom
Cabinet exhaust display units: TORR
Internal UPS
FUJI M-UPS GX100
Gas / MFC Model / Line / MFC Size
N2 / Aera / ¼” / 20 L
N2 / Aera / ¼” / 5 L x 5
SiH4 / Aera / ¼” / 500cc x 2
H2 / Aera / ¼” / 200cc x 3
0.5% BCl3/H2 / Aera / ¼” / 100cc x 3
Power supply: 120 V, 1Phase + 480 V, 3Phase
2019 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEiは、半導体デバイスの大量生産を目的とした最先端の拡散炉です。高度で汎用性の高いツールで、拡散プロセスを正確に制御し、優れたデバイス性能と歩留まりを実現します。TEL Alpha 8SEiは、最先端の技術と革新的な機能を備えており、世界中の半導体メーカーに好まれています。TOKYO ELECTRON Alpha 8SEiの特徴は、シリコンウェーハ表面へのドーパント材料の効率的かつ均一な拡散を可能にする独自の水平炉設計です。この設計は欠陥を最小限に抑え、ウェーハ全体にわたって一貫したデバイス特性を保証し、歩留まりと全体的なデバイス性能を向上させます。水平構成により、ウェーハの積み降ろしが容易になり、ダウンタイムが短縮され、生産性が向上します。アルファ8SEiは、幅広いプロセスガスやドーパント材料に対応できるため、様々な拡散用途に適しています。1200°Cまでの精密な温度制御を提供し、特定のデバイス要件を満たすために拡散プロファイルをカスタマイズできます。このシステムには、高度なガス流量制御機構とプロセス監視機能が装備されており、信頼性と再現性の高い拡散結果を保証します。主な拡散炉に加えて、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEiには、その性能と汎用性を高めるさまざまなアクセサリーとオプションが付属しています。これらのアクセサリーには、専用のガス処理ユニット、コンピュータ制御インターフェース、および高度なウェハハンドリングメカニズムが含まれます。このマシンは、ロボットウェーハ転送システムや高度なプロセス制御ソフトウェアなど、さまざまなオートメーションソリューションと統合して、生産ワークフローをさらに合理化し、全体的な効率を向上させることができます。TEL Alpha 8SEiは、安全性と信頼性に重点を置いて設計されており、高度な安全インターロック、過熱保護メカニズム、包括的な診断ツールを備えています。このツールは厳格な品質基準に基づいて構築されており、大量生産環境での耐久性と長期的な信頼性を確保するために厳格なテストを受けています。TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi資産のパフォーマンスと効率を最大化するための総合的なトレーニングとサポートサービスを提供しています。全体として、アルファ8SEi拡散炉モデルは、半導体製造用途において比類のない精度、信頼性、汎用性を提供する最先端のツールです。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEiは、革新的な設計、先進的な機能、包括的なサポートサービスを提供しており、高い歩留まり、優れたデバイス性能、生産プロセスにおける卓越した運用性を追求する半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。
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