中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9410307 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、ハイエンド半導体の製造に使用される最先端の拡散炉です。この拡散炉は、高性能ウェーハ処理用に特別に設計されています。それは低い循環時間、速い応答時間および高温均等性を特色にします。TEL ALPHA-8SEは± 0。5°Cの温度精度と± 0。2°Cのプロセス再現性を備えています。この8SEは、In-Situプロセスチャンバーを使用して構築されており、関連するシステムやデバイスとシームレスに統合できます。このチャンバーは、プロセスパラメータを正確かつ正確に制御できる独自のin-situプロセスコントローラによって動作します。8SEはまた、ウェーハの積み下ろしとアンロードのための分配/収集装置で完全に自動化されています。このシステムは、迅速かつ効率的なバッチ操作を可能にします。この拡散炉はまた、高度なICの生産を可能にする埋め込み型集積回路処理技術を備えています。ガスフロー、圧力、速度などのパラメータを管理する高度なユニット制御サブシステムを備えています。高度なプロセスコントローラは、プロセスの変更に迅速に適応することができ、多種多様な制御が可能です。さらに、8 SEは、内蔵のデータ収集および保管施設、ならびに目視検査および診断機を備えています。これにより、オペレータはいつでも拡散プロセスを監視およびトラブルシューティングできます。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEには、ウェーハの積み降ろしを簡素化する高度なロボットアームもあります。ロボットアームは、Windowsベースのソフトウェアインターフェイスを使用してプログラムおよび操作されます。全体的に、ALPHA 8S-Eは非常に信頼性が高く、有能な拡散炉です。ほぼ完璧な温度精度と再現性を誇り、さまざまなプロセス要件に対応した高度な調整が可能です。データ収集・保管・ロボット設備を内蔵した東京エレクトロンアルファ8S-Eは、ハイエンド半導体アセンブリに最適です。