中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9389878 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、拡散炉とそれに付随するアクセサリーで、TELの半導体加工装置の一部です。トランジスタ、チップ、その他のコンピュータや電子部品などの半導体デバイスの処理に使用されます。TEL ALPHA-8SE拡散炉は、シリコン、窒化ガリウム、その他の半導体材料やアルミニウム、銅などの合金を精密に加工することができます。炉は、2つの熱室と2つの加熱ゾーン、トップチャンバーとボトムチャンバーで構成されています。上の部屋はステンレス鋼から成り、拡散プロセスのために使用されます。石英チャンバーライナーと衛生的な蓋を内蔵しており、繊細な電子部品の安全で効率的な加工に適しています。最下部の部屋はアニール部屋であり、モリブデンから成っています。それに拡張可能な暖房地帯があり、50°Cから1600°Cまで温度の広い範囲のために適しています。これにより、迅速なアニーリングプロセスに適しています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEは、グラファイト炉の炉とRラップ加熱ライナーを使用し、プロセスをより効率的にします。また、炉の内部で温度測定を可能にするピロメーターを装備しており、温度やプロセスを正確に制御することができます。ALPHA-8SE拡散炉は、温度やガス圧力などを監視する自動安全システムを備えており、危険な場合は自動的に炉をシャットダウンします。また、加熱処理により発生する煙や発煙を排除する排気システムも備えています。さらに、炉は熱および発煙の脱出を減らす円形ゲート鎖の保護カバーと造られます。拡散炉以外にも、アダプター基板とコントローラで構成されています。アダプターボードには、温度、排気、その他のパラメータの制御など、さまざまなプロセスに必要な信号を転送するために使用できる多数のインタフェースがあります。コントローラは、温度、圧力、およびその他のプロセスを制御するために使用できるマルチチャンネルコントローラです。ALPHA 8S-E拡散炉とその付属品は、さまざまなデバイス用途に異なる種類の材料を処理する洗練された効果的な手段を提供します。その洗練された安全機能、温度監視、効率的な排気システムは、人員と機械の安全を確保します。