中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93405 を販売中
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販売された
ID: 93405
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
APCVD furnace, 8"
Heater Model/Part No: VOS-40-017
Process: PIX Cure
Software Version: WAVE Controller
System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC
Loading Configuration 4 Loader
N2 LL
150 Wafer Load
Main System:
WAVES Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
21 Cassette Stocker
Temperature Controller (M560)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility&Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
O2 Detector
Auto Shutter
Gas System (SiH4,CLF3,5%PH3,O2,N2,)
Options:
Signal Tower
Pitch Change Mechanism
UPS
GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control:
Quartz ware
Load lock purge system
Process gas O2,N2,
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
Remote Components:
UTILITY BOX x1. Power Rating: 110/208AC
RCU cabinet x1 Power Rating: 110/208V
UPS x1. Power Rating: 110AC-1
Crated in a warehouse
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEは、電子部品の高効率・低コスト生産を実現する拡散炉・アクセサリーです。それは既存の生産ラインに統合することができ、自動化されたローディング、温度調整および閉鎖した装置の技術と使いやすいです。炉は閉鎖されたガス配達システムを利用し、それに1600°Cまでの最高温度を与える強力な縦および横のガス配達単位と造られます。TEL ALPHA-8SEの強固な構造により、ライフサイクルが非常に長く、高温を必要とする長時間の作業に適しています。また、最大10個のガス源を同時に保持できるため、大容量の環境でも使用できます。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SEには、湿気や湿気の多い環境でも安心してご使用いただける水冷機もあります。このツールはまた、より速い冷却と熱分布のための安定した温度を確保するのに役立ちます。その上、純粋な窒素で0。5％の最大漏れレベルに達することができ、最終製品の酸化を防ぎます。また、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Eには、ワンタッチで簡単に調整できる独自の可変制御セットが搭載されており、異なる生産ニーズに応じて設定を調整することができます。この炉には、マルチゾーンの温度制御、可変ガスフロー、および体系的な生産を支援するプリペイドチェック機能などの他のオプションもあります。TEL Alpha 8SEは、大量生産に最適な効率的で信頼性の高い拡散炉です。自動ローディング、温度制御、クローズドモデル技術により、ALPHA-8SEは、次の生産ラインのための完全な拡散炉とアクセサリーソリューションをお探しの方に最適です。
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